摘要
尹志尧希望近期内争取将中微半导体的产值提升至700亿元。 芯东西5月19日报道，5月17日，央视频放出了对“中国刻蚀机之父”、中微半导体设备公司董事长兼总经理尹志尧的采访，“中国半导体教父”、中芯国际创始人、兴华芯创始人张汝京也参与了这次对话。尹志尧在访谈中透露，中微公司的刻蚀设备已实现100pm（皮米级）加工精度，目前该公司的800多个反应台已进入中国台湾国际先进生产线，覆盖从45nm到3nm的制程节点。 此外，中微公司已成为台积电先进制程的刻蚀机装备的设备供应商。 尹志尧（图左）张汝京（图右）（图源：央视频） 访谈中，尹志尧称，对于现在的半导体，他们能做到5nm到3nm区间的50-60层堆叠。对于半导体行业的发展，他说道：“集成电路是成千上万人的事业，不是靠几个精英就可以搞起来的。”而关于中微公司领导层的接班人，他称自己也有了一批人选。 在泛半导体领域，该公司从0开始，两年内完成150吨重的大平板设备开发，而按尹志尧做设备的经验，此前预估做成至少需要3-5年甚至7年的时间。 尹志尧不认为中国的半导体设备离世界水平很远，中国现在至少有300多个半导体设备公司。他分享道：“中国的半导体设备工业，有很多已经达到了国际先进水平，有部分产品甚至超过了国际先进水平。” 谈及国内厂商选用国产设备一事，张汝京直言：“试新的设备一定会有风险，但最大的问题，是使用者有没有试用的决心。” 他补充道：“如果带头的领导觉得使用国产设备太麻烦，这种心态一出来的话，他自己犯错很少，但是国家整体的进步就大大的减慢。” 他还谈及国内企业常遭遇海外专利诉讼的困境，他称，企业发展越出色，越容易引来无端打压。不过，如今依托庞大的国内市场，国外对于中国企业的干扰空间大幅缩减。张汝京说道：“他来告我们专利的时候，最坏的情形，交叉授权也就解决了。” 采访中，尹志尧希望国内的客户能给国内设备制造公司更多的机会。他解释道：“国外的设备最初进入生产线时，最初两年都是一塌糊涂。”这与国内设备最初进入生产线时面临问题的情况一样。国外设备后续经由台积电、三星等企业实测打磨、优化完善后，才会正式推向中国的市场。 谈到为何回国发展，他称，他给美国产业界做了不少贡献，但毕竟是中国出生，祖上三代都从国外回来报效，所以他也要回国。 2003年他与张汝京在美国见面，张汝京
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